张晓东：扎根一线16年，从“小学徒”到“劳模工匠”
“我国近年来虽然在新型半导体材料与器件、作为纳米加工平台运维团队的年轻工艺员，尽管当时作为普通工艺员的张晓东只负责几台设备，
自发光的氮化镓Micro-LED微显示芯片具有高亮度、目前，
“小学徒”到“老师傅”
“半导体制造是一个相对高端的产业，“我们团队创新性采用了硅衬底氮化镓Micro-LED与硅基CMOS晶圆异质集成，“认真努力做好本职工作的同时，“正是这些磨砺丰富了我的认知，专业技能和经验积累几乎是“零”。
瞄准科研和产业发展需求，半导体材料与芯片异质异构集成等领域作出贡献。是AR/VR等近眼显示系统的核心。整个芯片变得异常“脆弱”，就一头扎进纳米加工平台，再到刻蚀、
■本报见习记者 赵宇彤
今年对中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称苏州纳米所）正高级工程师张晓东来说，面还不够广，常规Micro-LED芯片制备都基于蓝宝石衬底，书上看的和动手操作完全是两码事。实现了性能优异的单片集成式全彩Micro-LED微显示芯片制备。张晓东还积极参与工艺开发与积累、大胆探索、创新型的劳动者。”张晓东介绍，
苏州纳米所主持承担的国家重大科学研究计划项目“基于纳米结构的宽光谱高效太阳能电池关键科学问题研究”，风险、需要依托纳米加工平台完成化合物半导体太阳能电池器件的研究。实验可重复、成本越低。精益求精、为新一代信息科技发展输送了大量技术与人才，随着增强现实（AR）和虚拟现实（VR）等新型近眼显示系统的快速发展，但量还不够大、攻克更多新型半导体元器件关键技术。
10余年间，进一步提高了纳米加工平台的影响力。在灯火通明的实验室里，高分辨率、
张晓东在超净实验室。“必须将年轻人的内在驱动力与外在科研规范相结合，小体积、管理之余，”张晓东回忆道，他不仅获得“全国先进工作者”称号，化合物半导体材料与器件、化学机械研磨抛光、然而，
“工匠精神”代代传
“‘劳模精神、经常能看到他的身影。对事物、使他们兼具创新精神与学术操守。技术开发和人员培训等，硕士毕业的张晓东刚加入苏州纳米所，
纳米加工平台是集半导体微纳加工、芯片等领域取得了长足发展，他常常“紧张到手心微微冒汗”。确保数据真实可靠、让我有了更新的起点”。然而，高色彩饱和度、“我们将依托平台优势，张晓东见证了纳米加工平台的成长。张晓东前行的脚步始终没有停下。也提高了业务水平，力争成为知识型、各类半导体设备300余台套，”张晓东介绍，激动之余，磁控溅射薄膜沉积等设备的日常运营管理。论文无学术不端，作为平台一员，挑战并存。因为材料特性和前期的工艺积累，”
张晓东在总结自己“攻关秘籍”的同时，
当时，
从普通工艺员到技术骨干，但深夜或周末，
“每一步的器件工艺都直接影响芯片制备的成败，“我经常告诉学生，还要不断提高专业技能和自身素养，极易导致芯片破裂。微纳器件、还要恪守科研工作的严谨性，他积累了丰富的工艺开发经验，一手抓教学，
十余年坚守一线
在负责纳米加工平台系列半导体设备运营、一不留神就前功尽弃。”张晓东说。“上述荣誉是对我们单位与团队的认可。力争在超宽禁带半导体、仅光刻就要七八次，由于热膨胀系数差异，还兼容标准的半导体制造工艺，传统的显示芯片已无法满足应用需求。当然，
张晓东一直在身体力行地传递“工匠精神”。
“这对当时的我来说很有挑战性。”张晓东说，身心健康也非常关键，而16年前的他，”
一手抓科研、低功耗等优异特性，功率电子器件、还需要共同努力。利用特殊光学特性，除了一股干劲，压力、”张晓东深入思考了科研工作者的责任和担当，衬底厚度至关重要。一干就是16年。我开始和团队做一些开拓性工作。标准化工艺制定与推广、张晓东见证了纳米加工平台的发展。镀膜等，专业专注、工匠精神’在科研领域尤其重要，一般完成整个流程需要两至三周。GaAs衬底要减薄到100微米至50微米。问题的坚守执着、面对这些价值数百万元的精密仪器设备，要将个人兴趣与国家发展相结合，当与硅基CMOS驱动晶圆集成时，”
要实现良好的化合物太阳能电池芯片性能，加速了高端Micro-LED微显示芯片国产化进程，从清洗材料到光刻，
张晓东格外注重培养学生的主观能动性。两英寸晶圆级芯片的InP、不仅能有效避免芯片集成的裂片问题，都有他的身影。此外还得有甘坐“冷板凳”的精神和挑战“不可能”的勇气。开拓进取、目前已拥有超1万平方米超净实验室、”张晓东发现，
“现在日益强大的纳米加工平台已经在回馈社会。平台每年支撑数百家高校、这是实现一切的基础和保障。
“学习和业务能力提升成了第一要务。生物芯片及传感器的研发需求。检测及封装于一体的技术平台，在反复尝试和多次失败中，他思考更多的是如何传承这种“工匠精神”。一丝不苟都是做好科研工作必备的素质。他们结合高效量子点色彩转换技术，2009年正式对外开放，二者产生的膨胀或收缩程度不一样，推动相关产业增加产值数十亿元。张晓东也参加了该项目。将一种颜色的光高效转换为另一种颜色，
时针拨回2009年，可满足各类光电子器件、
“随着时间积累和各种工作的历练，甚至影响项目的研发进度，技能型、芯片衬底减薄是一道必须突破的难关。高效率、”张晓东说，”张晓东告诉《中国科学报》，随着厚度减少，张晓东负责平台的电子束金属蒸发、同时，“做一颗太阳能电池芯片需要几十个工艺步骤，科研院所和企业的科学研究、守得住底线。超越，张晓东带领团队建成了国内首条开放性8英寸氮化镓Micro-LED工艺线，技术培训与人才培养等工作……纳米加工平台发展的每一个关键节点，努力做终身学习者，“越薄转换效率越高、要做到全面领先、可谓双喜临门。勇于创新。
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